能力性能指标
● X 轴运行超范围≥2550mm, 位移精密度不降到0.05mm/1000mm,重叠手机定位的精密度远远高于0.05mm;
● Y 轴运作范畴≥350mm, 位移精确度不最低0.05mm/1000mm,抄袭位置要求相对比较0.05mm;
● 传动链的速度0~200mm/s 可调节为式节,最短可调节为式值为0.2mm/s;
● 探测器能力辨别率更为重要15%(122keV);
● 检测用器有关闭及缩减本底的裝置;
● 准直系統产品为铅;准直孔管径6.6mm; 准直器尺寸40mm;
● 准直设备,直线方程度≤0.1mm。

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